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| 混合配体配合物胍基脒基镧的合成及性能 |
| 谢乾， 丁玉强* |
| 江南大学 化学与材料工程学院，江苏 无锡 214122 |
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| Synthesis and properties of ligand complex guanidine lanthanum |
| XIE Qian, DING Yuqiang* |
| School of Chemistry and Materials Engineering, Jiangnan University, Wuxi 214122, China |
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摘要 La2O3薄膜材料应用广泛，而制备La2O3薄膜的前驱体合成面临着挑战，多数现有前驱体热稳定性差、合成路线复杂或者成本高等问题。因此，本文报道了混配型和均配型的胍基、脒基镧配合物二(N,N’-二异丙基-甲胺基胍基)一（N,N’-二异丙基戊基脒基）合镧（配合物1）和三(N,N’-二异丙基-甲胺基胍基)合镧（配合物2），通过1H NMR, 13C NMR表征结构；通过热重分析（TGA）研究所有配合物的热稳定性和挥发性。结果表明：配合物1在加热至170.0 ℃时，其蒸气压会急剧上升；在202.0 ℃能产生1.0 Torr的蒸气压；在260.0 ℃以下该配合物有良好的热稳定性。以上数据说明：该配合物比较好地满足CVD工艺条件，是一种潜在的化学气相沉积前驱体；通过CVD技术，在源加热温度210 ℃、沉积温度为260.0 ℃、沉积时间为10.0 min的条件下得到约11.9 nm薄膜，SEM和XPS分析了薄膜的形貌和成分，实验结果表明沉积的纳米薄膜为高纯的La2O3薄膜。
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收稿日期: 2023-03-17
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通讯作者:
丁玉强，教授， E-mail: yding@jiangnan.edu.cn。
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| 作者简介: 谢乾(1997-) ,男,汉族,四川巴中人,硕士研究生，主要从事金属有机合成方面研究，E-mail:1287667320@qq. com。 |
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2023, Vol. 31 
