杂环类锌基光刻胶的制备及性能研究
吴蓉1,3， 赵炜珍2*, 王公应3
1. 中国科学院 成都有机化学研究所，四川 成都 610041； 2. 中国科学院 过程工程研究所，北京 100190； 3. 中国科学院大学，北京 100049
Preparation and Properties of Heterocyclic Zinc-based Photoresist
WU Rong1,3, ZHAO Weizhen2*, WANG Gongying3
1. Chengdu Institute of Organic Chemistry, Chinese Academy of Sciences, Chengdu 610041, China; 2. Institute of Process Engineering, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100190, China; 3 University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China
摘要 随着微电子行业的高速发展，光刻胶在IC制造行业得到了越来越多的关注，金属氧簇光刻胶以高吸收性、尺寸小且易于调控的优势受到青睐。在常温下设计合成了以二水乙酸锌为金属源，2-巯基-1-甲基咪唑为配体的含杂环的锌氧团簇化合物Zn-2-MMI，其结构由X-射线单晶衍射和热重分析确证。结果表明：该材料尺度较小（1~2 nm），有助于得到高分辨图案；热稳定性能满足一般光刻的技术要求。通过高斯计算得到HOMO（最高占据分子轨道）值较低（-6.64 eV），表明Zn-2-MMI具有一定的光化学反应潜力。在深紫外波长下进行曝光后，Zn-2-MMI光刻胶能在四甲基氢氧化铵水溶液和异丙醇中得到正负显影特征的图案；该光刻胶具有较高的灵敏度（45.5 mJ·cm-2），表明了Zn-2-MMI具备作为新一代光刻候选材料的潜力。
关键词 ：
锌基光刻胶 ,
深紫外光刻 ,
灵敏度 ,
杂环 ,
HOMO-LUMO带隙 ,
正负显影特征
收稿日期: 2023-03-17
通讯作者:
赵炜珍，博士，副研究员， E-mail: wzzhao@ipe.ac.cn。
作者简介 : 吴蓉(1997-)，女，汉族，四川成都人，硕士研究生，主要从事金属基光刻胶研究， E-mail: wurong2021@ipe.ac.cn。
[1]
罗杰伟， 张仕禄， 赵波. 新型N-杂环卡宾汞(银)配合物的合成与抑菌活性
[2]
梁锦萍， 周凤姬， 陆思懿， 郭陆云， 陈清， 林宁. 氮杂环庚烷[1,2-a]吲哚化合物的合成研究进展
[3]
詹固， 侯秋梦， 韩波. 酞嗪-2-二氰基甲烷鎓盐的串联环化反应及新型六环咪唑并[2,1-a ]酞嗪的构建
[4]
代海渝, 戴青松, 何美浩, 李青竹, 杨四琳, 田远航, 王亚鹏. 新型氮杂环卡宾催化剂的合成及其在烯烃的自由基氟烷基酰化反应中的应用研究
[5]
谢京燕. 两个基于2,3,5,6-四氟-二（1,2,4-三氮唑-1-甲基）苯和1,4-萘二甲酸混合配体的配位聚合物的合成、结构及其荧光性能
[6]
张晨曦， 刘娟， 任金娜， 薛志勇. 顺式六氢-1H -呋喃并[3,4-C ]吡咯的合成
[7]
李明桦， 董守诚， 谢金鑫， 邓志鹏， 汤日元. 新型含硫吡唑杂环的合成及其抗稻瘟病菌活性研究
[8]
何煦昌. 杂环手性辅助剂不对称合成方法综述——纪念有机立体化学名家Ernest L. Eliel 敎授
[9]
程伟， 张向龙, 赵雷振1 范亚锋， 油天钰, 袁文鹏. 6-溴咪唑并[1,2-b ]哒嗪-3-甲酸的合成
[10]
任传清, 季晓晖，季建伟，张强，宋娟. α -(1,2-亚乙基)酰胺与端炔[4+1]合成螺环吡咯啉-2-酮
[11]
代祯, 黄晴菲, 王启卫. 沙库必曲中间体(R )-2-(叔丁氧羰基氨基)-3-(联苯-4-基)丙醇的合成
[12]
朱文庆, 张紫薇, 韩文勇. 氮杂环丙烷[3+3]环加成反应研究进展
[13]
谢吴成, 陈锟，欧艺强，叶海方，李杰森，石君君. 新型含苯并磷杂环戊二烯结构荧光分子的合成及性能
[14]
李正义, 李如洲, 殷乐, 孙小强. 非对称二苯并[b,f ][1,5]二氮杂环辛四烯的合成
[15]
张亚明, 张燕霞, 伍鹏程, 柳军玺, 魏小宁. 一锅法合成新型异吲哚啉酮衍生物
2023, Vol. 31 
